每經(jīng)AI快訊，12月9日，記者了解到，今年1到11月，市場監(jiān)管總局新批準(zhǔn)發(fā)布85項(xiàng)服務(wù)“雙碳”工作和精密制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，為提高碳測量數(shù)據(jù)和精密制造測量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)性提供有力支撐。在服務(wù)精密制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面，批準(zhǔn)發(fā)布高純氮、高純氧等13項(xiàng)電子氣體國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。在半導(dǎo)體器件制造過程中，高純度電子氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可用于清洗、刻蝕、沉積等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，確保晶圓的純凈度和性能。在集成電路生產(chǎn)過程中，高純度電子氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)在光刻、離子注入、氧化等工藝中發(fā)揮著重要作用，保障集成電路的穩(wěn)定性和可靠性。 (央視新聞)