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南大光電：ArF光刻膠有少量供貨 尚未規(guī)模量產

2023-03-14 21:14:00

每經AI快訊，3月14日，南大光電在互動平臺表示，ArF光刻膠有少量供貨，尚未規(guī)模量產。光刻膠擴產計劃需根據(jù)產品訂單情況確定。ArF光刻膠是先進集成電路芯片制造的關鍵材料，在193nm光源下有較高的透明性和抗刻蝕性等，可以廣泛應用于各種高端IC芯片的生產制造。

責編 胡玲

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